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2. 2.1 半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)

半導(dǎo)體應(yīng)變片的工作原理是基于半導(dǎo)體晶體材料的電阻率隨作用應(yīng)力而變化的所
謂“壓阻效應(yīng)”。所有材料在某種程度上都呈現(xiàn)壓阻效應(yīng),但半導(dǎo)體材料的這種效應(yīng)特
別顯著，能直接反映出微小的應(yīng)變。半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)可解釋為:由應(yīng)變引起能帶變形,從
而使能帶中的載流子遷移率及濃度也相應(yīng)地發(fā)生相對(duì)變化。因此導(dǎo)致電阻率變化，進(jìn)而
引起電阻變化。 

半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)應(yīng)用較普遍的有體型、薄膜型、擴(kuò)散型、外延型等。

體型半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)是將晶片按一定取向切片、研磨、再切割成細(xì)條,粘貼于基片上制
作而成。幾種體型半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)示意圖如圖2 - 33所示。