產(chǎn)品大類

解決方案與產(chǎn)品應(yīng)用

11.3.5 納米技術(shù)及MEMS技術(shù)在半導(dǎo)體氣體傳感器中的應(yīng)用

更新時(shí)間：2023-01-10 14:47:14

應(yīng)用介紹

文摘：

半導(dǎo)體陶瓷氣體傳感器具有靈敏度高。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、價(jià)格便宜等優(yōu)點(diǎn)，
得到了迅速發(fā)展，有相當(dāng)數(shù)量的產(chǎn)品,至今已成為一大體系，但這類
傳感器存在著如下缺點(diǎn),①選擇性差、靈敏度和稍度低、穩(wěn)定性不高；
②需要加熱控溫裝置，增加了傳感器的體積、功耗和復(fù)雜度； ③不
便用現(xiàn)行的微電子工藝制作，不利于信號(hào)處理電路的集成,這些都妨
礙了它的應(yīng)用。 過(guò)去通過(guò)摻雜催化劑、控制工作溫度、利用過(guò)濾分
子篩等手段，取得了相當(dāng)大的成功，但終究 沒(méi)有徹底解決這些問(wèn)題。
因此，研制易于集成和批zui生產(chǎn)、體積小、無(wú)須加熱、功粍低、可檢
測(cè)多種有機(jī)氣體的新型氣體傳感器,具有現(xiàn)實(shí)意義，納米技術(shù)在半導(dǎo)
體陶瓷氣體傳感器中 的應(yīng)用，給這類傳感器帶來(lái)了希望，并取得了
極大的進(jìn)步。


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