解決方案與產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè)VOC氣體制程管控
更新時(shí)間：2023-12-29 16:38:08
應(yīng)用介紹
半導(dǎo)體行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為 “清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實(shí)上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中使用了大量有機(jī)和無(wú)機(jī)物，包括許多有毒有害物質(zhì)，對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重，如不加以控制，將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類(lèi)廢氣。半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)，以揮發(fā)為主。
半導(dǎo)體行業(yè)VOCs廢氣主要來(lái)源于光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工序，在這些工序中要用有機(jī)溶液（如異丙醇）對(duì)晶片表面進(jìn)行清洗，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機(jī)廢氣的來(lái)源之一；同時(shí)，在光刻、刻蝕等過(guò)程中使用的光阻劑（光刻膠）中含有易揮發(fā)的有機(jī)溶劑，如醋酸丁酯等，在晶片處理過(guò)程中也要揮發(fā)到大氣中，是有機(jī)廢氣產(chǎn)生的又一來(lái)源。
半導(dǎo)體生產(chǎn)制程包含精密的微機(jī)電和集成電路，對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境之潔凈度的要求特別嚴(yán)格，因此整個(gè)制造過(guò)程都必須在嚴(yán)格控制的環(huán)境條件下進(jìn)行。 隨著制程特征尺寸（feature size）快速縮小，潔凈室環(huán)境空氣質(zhì)量的要求也更為嚴(yán)苛。對(duì)于半導(dǎo)體制程VOC的監(jiān)測(cè)以下幾個(gè)環(huán)節(jié)：全廠環(huán)境監(jiān)測(cè)；濾網(wǎng)效能檢測(cè)；制程中晶圓搬運(yùn)盒潔凈度檢測(cè)；廠內(nèi)主要?dú)赓|(zhì)檢測(cè)；制程污染鑒定等。
在這里，深圳新世聯(lián)科技有限公司給大家推薦一款VOC氣體傳感器PID-AH5， PID-AH5傳感器的英國(guó)Alphasense公司研發(fā)的光離子化傳感器專(zhuān)門(mén)用于檢測(cè)VOCs氣體的傳感器，該傳感器是一款簡(jiǎn)單的即插即用式傳感器，能在多種不同應(yīng)用中對(duì)數(shù)千種揮發(fā)性有機(jī)物（VOCS）提供動(dòng)態(tài)且可靠的響應(yīng)。該傳感器專(zhuān)為擴(kuò)散式和在線式泵吸式設(shè)計(jì)，提供出色的響應(yīng)時(shí)間和清除率，采用特殊亮度和穩(wěn)定性的燈泡，能夠在較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)可靠地檢測(cè)揮發(fā)性弱和不易檢測(cè)的化合物。
PID-AH5傳感器的主要性能如下：
線性范圍：1ppb-40ppm（異丁烯）
T90響應(yīng)時(shí)間：2s
典型靈敏度：50mV/ppm
燈泡能量：10.6ev
功耗：80mW-200mW（取決于供電電壓）
供電電壓：3.2-5.5VDC
輸出信號(hào)：0.040-2.85V
